立式石英管舟清洗机（Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner）

适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、清洗对象：
　　石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
　　石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
　　零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室或石英部件：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm

关键词：

所属分类：

附属湿法清洗设备

立式清洗机

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